[发明专利]基板传送系统及传送方法有效
| 申请号： | 201110149785.5 | 申请日： | 2011-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN102320472A | 公开（公告）日： | 2012-01-18 |
| 发明（设计）人： | 刘纯;潘昶宏 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G47/52;B65G47/91 |
| 代理公司： | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人： | 何青瓦 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明新区公*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基板传送系统及传送方法。该基板传送系统包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出基板；基板传送平台，设置于第一基板处理平台和第二基板处理平台之间，用于接收来自基板处理平台的基板；基板承载平台，与基板传送平台相邻设置，用于接收来自基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，与基板出口平台平行设置，用于接收来自基板承载平台的基板并将基板传送至基板出口平台。通过上述方式，本发明能够快速地传送基板，缩短基板的传送周期，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传送 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种基板传送系统，包括：基板处理平台，其包括第一基板处理平台和第二基板处理平台；基板出口平台，用于输出所述基板；其特征在于，所述基板传送系统进一步包括：基板传送平台，所述基板传送平台设置于所述第一基板处理平台和所述第二基板处理平台之间，用于接收来自所述基板处理平台的基板；基板承载平台，所述基板承载平台与所述基板传送平台相邻设置，用于接收来自所述基板传送平台的基板；以及基板运送中转平台，所述基板运送中转平台与所述基板出口平台平行设置，用于接收来自所述基板承载平台的基板并将所述基板传送至所述基板出口平台。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电技术有限公司，未经深圳市华星光电技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110149785.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于波动方程外推算子的VTI介质中叠前时间偏移方法
- 下一篇：层叠体及容器
