[发明专利]快速热退火设备中氧气浓度的监测方法

摘要

一种快速热退火设备中氧气浓度的监测方法，通过引入裸晶圆来监测快速热退火设备中的氧气浓度，在进行快速热退火处理之前，测量裸晶圆表面的自然氧化层的厚度，在快速热退火处理之后，再测量裸晶圆表面具有的氧化层的厚度，通过两次厚度的差值来测出所增加的氧化层厚度，能够准确地监测快速热退火设备中真实的氧气浓度，进而能根据测得的结果对快速热退火设备进行随时的调控，保证快速热退火工艺的有效性和稳定性。

主权项

一种快速热退火设备中氧气浓度的监测方法，其特征在于，所述监测方法包括：提供产品晶圆，所述产品晶圆用于制造所需要的半导体集成电路；提供裸晶圆，所述裸晶圆表面具有自然氧化层；将所述产品晶圆和所述裸晶圆共同置于快速热退火设备中，进行快速热退火处理；其中：在进行快速热退火处理之前，测量所述裸晶圆表面的所述自然氧化层的厚度，记为第一厚度；快速热退火的气氛为氮气；在快速热退火处理之后，测量所述裸晶圆表面具有的氧化层的厚度，记为第二厚度；根据第一厚度与第二厚度的差值，测出通过快速热退火处理在所述裸晶圆表面所增加的氧化层厚度，进而监测所述快速热退火设备中氧气浓度。