[发明专利]笛卡尔机械臂群集工具架构

摘要

本发明涉及一种笛卡尔机械臂群集工具架构。兹提供一种使用多腔室制程系统来处理基材的方法及设备，该系统具有增加的产能、增强的系统可靠度、改善的元件合格率表现、再现性更高的晶片制程历史、以及较小的占地面积(foot print)。该群集工具的各种实施例可使用以平行制程配置法配置的两个或多个机械臂，以在留置在所述制程架内的各个制程腔室间传送基材，因而可执行预期的制程程序。在一实施态样中，该平行制程配置法包含两个或多个机械臂组件，其是适于在垂直和水平方向上移动，以存取留置在所述制程架内的若干制程腔室。在一实施例中，一机械臂叶片适于限制一基材，使得传送过程期间该基材所经历的加速不会使该机械臂叶片上的基材位置改变。

主权项

一种机械臂组件，包括：一第一移动组件，可在第一方向上移动；以及一第二移动组件，该第二移动组件耦合于所述第一移动组件并可相对于所述第一移动组件在基本垂直于所述第一方向的第二方向上移动，其中所述机械臂组件还包括：一围封，设置于所述第一移动组件或者所述第二移动组件之一中；一促动器，在所述围封内；一风扇组件，设置于所述围封中，适于在所述围封内产生一小于该围封外部压力的压力。