[发明专利]光学测量装置和光学测量方法有效
| 申请号： | 201110051749.5 | 申请日： | 2011-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN102192872A | 公开（公告）日： | 2011-09-21 |
| 发明（设计）人： | 铃木俊平;今西慎吾;桥本学治;堂胁优 | 申请（专利权）人： | 索尼公司 |
| 主分类号： | G01N15/14 | 分类号： | G01N15/14;G01N21/64;G01N21/63;G02B27/10 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了光学测量装置和光学测量方法。一种光学测量装置，包括：光施加部，被配置为向通道中流动的样本施加激发光；以及散射光检测部，被配置为在激发光的传播方向上，在样本的下游侧，检测从被激发光照射的样本生成的散射光，所述散射光检测部包括：散射光分离掩模，用于将散射光分离成数值孔径不大于特定值的低数值孔径分量和数值孔径大于特定值的高数值孔径分量；第一检测器，用于检测低数值孔径分量；以及第二检测器，用于检测高数值孔径分量。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
一种光学测量装置，包括：光施加部，被配置为向在通道中流动的样本施加激发光；以及散射光检测部，被配置为在所述激发光的传播方向上，在所述样本的下游侧，检测从被所述激发光照射的所述样本生成的散射光，所述散射光检测部包括：散射光分离掩模，用于将所述散射光分离成数值孔径不大于特定值的低数值孔径分量和数值孔径大于所述特定值的高数值孔径分量；第一检测器，用于检测所述低数值孔径分量；以及第二检测器，用于检测所述高数值孔径分量。
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