[发明专利]模具的制造方法及其所用的电极结构

摘要

本发明的蛾眼用模具的制造方法包括：(a)通过接触铝膜(10a)的表面的电极(32a)进行阳极氧化而形成具有细微的凹部的多孔铝层的工序；(b)在工序(a)之后，使多孔铝层接触蚀刻液来扩大细微的凹部的工序；以及(c)在工序(b)之后，进一步进行阳极氧化而使细微的凹部成长的工序，铝膜由99.99质量％以上的纯度的铝形成，电极具有：第1电极部(32a1)，其由99.50质量％以下的纯度的铝形成；以及第2电极部(32a2)，其由纯度高于第1电极部的铝形成且设置在表面与第1电极部之间，工序(a)、(c)在第2电极部与表面在电解液中接触的状态下进行。根据本发明，可以提供有效地对在大面积基板上形成的铝膜进行阳极氧化的方法以及这种方法所用的电极结构。

主权项

一种在表面具有翻转蛾眼结构的模具的制造方法，所述翻转蛾眼结构具有多个凹部，所述多个凹部从表面的法线方向看时的2维大小是10nm以上、不到500nm，上述制造方法包括：(a)通过接触铝膜或者铝基材的表面的电极，对上述表面进行阳极氧化，由此形成具有多个细微的凹部的多孔铝层的工序；(b)在上述工序(a)之后，使上述多孔铝层接触蚀刻液，由此扩大上述多孔铝层的上述多个细微的凹部的工序；以及(c)在上述工序(b)之后，通过上述电极进一步对上述表面进行阳极氧化，由此使上述多个细微的凹部成长的工序，上述铝膜或者上述铝基材由99.99质量％以上的纯度的铝形成，上述电极具有：第1电极部，其由99.50质量％以下的纯度的铝形成；以及第2电极部，其由与上述第1电极部的铝相比纯度高的铝形成，设置在上述表面与上述第1电极部之间，上述工序(a)和(c)在上述第2电极部与上述表面在电解液中接触的状态下进行。