[实用新型]具有隔热件的蒸镀源载具无效
| 申请号： | 201020628180.5 | 申请日： | 2010-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN201890920U | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 陈宜杰;白英宏;罗世欣 | 申请（专利权）人： | 聚昌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹县*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型是有关于一种具有隔热件的蒸镀源载具，其包括：载具；以及隔热件。其中，载具具有界定内部空间体积的侧边及底边，而隔热件设置于载具内并设于底边上。在蒸镀过程中，蒸镀材则摆放于载具内并位于隔热件上，透过隔热件的设置，可有效阻绝蒸镀材的热能因热传导而散失，以稳定蒸镀材的蒸镀温度，并达到稳定蒸镀速率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 隔热 蒸镀源载具 | ||
【主权项】：
一种具有隔热件的蒸镀源载具，其特征在于，其包括：一载具，其具有界定内部空间体积的侧边及底边；以及一隔热件，其设置于该载具内并设于该底边上。
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