[实用新型]一种用于固晶机的晶圆推顶装置

摘要

本实用新型所公开的一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件、下部安装于推顶轴芯外筒组件内的上下活动推顶轴芯组件、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接。该实用新型的推顶装置结构简单，节省了一组伺服电机控制系统，在原来的真空气路上并可实现。本实用新型晶圆推顶装置的结构设计实用、简单，将半导体行业封装中固晶机的工作效率和质量大大改良提高。

主权项

一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件(9)、下部安装于推顶轴芯外筒组件(9)内的上下活动推顶轴芯组件(7)、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件(6)、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件(8)，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接，其特征在于：所述的推顶轴芯外筒组件包括一推顶轴芯外筒(19)、推顶轴芯外筒连接有连接调气阀和气咀；所述的上下活动推顶轴芯组件包括一中空的推顶轴芯(10)，推顶轴芯连接有推顶轴活塞(14)，推顶轴活塞外环设有密封圈(13)，推顶轴活塞上设有气动电磁阀，推顶轴芯的顶部设有一小孔；所述的固定推顶针组件包括设于推顶轴芯空腔内的推顶针压帽(11)，推顶针压帽安装固定有对应推顶轴芯顶部小孔的推顶针(12)；所述的滚珠式花键组件包括穿过推顶轴芯外筒和推顶轴芯与推顶针固定连接的滚珠式花键轴芯(15)、设于推顶轴芯外筒内并套紧滚珠式花键轴芯的滚珠式花键外筒(16)，外套于滚珠式花键轴芯上的定位圆筒(18)，定位圆筒位于滚珠式花键外筒和推顶轴芯外筒之间，定位圆筒上环设有弹簧(17)；滚珠式花键轴芯露于推顶轴芯外筒的一端上依次套有推顶针高度微调螺母(20)和推顶针高度微调螺丝(21)。