[实用新型]氩气双储罐管道连通装置无效
| 申请号： | 201020231746.0 | 申请日： | 2010-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN201715245U | 公开（公告）日： | 2011-01-19 |
| 发明（设计）人： | 钱新江;朱景福 | 申请（专利权）人： | 安徽日能中天半导体发展有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 余成俊 |
| 地址： | 237200*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氩气双储罐管道连通装置，包括两个储罐，两个冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却池连通，两个冷却池的出气口上的出气管合为一路管道，合路管道上还安装有压力阀。本实用新型结构简单，易于安装和日常维护，可以有效地解决输出的氩气气压不够的问题，大大提高了半导体的生产效率，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 氩气双储罐 管道 连通 装置 | ||
【主权项】：
氩气双储罐管道连通装置，包括两个储存有氩气的储罐，其特征在于：还包括有两个分别带进、出气口的冷却池，一个储罐通过输气管和一个冷却池的进气口对应一一连通，两个冷却池的出气口上分别安装有出气管，两路出气管合为一路管道，合路管道上还安装有压力阀。
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