[实用新型]一种柔性集成化超声换能器无效
| 申请号： | 201020231298.4 | 申请日： | 2010-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN201804553U | 公开（公告）日： | 2011-04-20 |
| 发明（设计）人： | 刘玉荣;姚若河;韦岗 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | G10K9/122 | 分类号： | G10K9/122 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种柔性集成化超声换能器，由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。本实用新型为了便于制备二维柔性超声换能器阵列，采用柔性PET作为基底，PET基底上沉积一层二氧化硅薄膜用于隔离湿汽；用PVDF薄膜作为超声传感器的压电材料具有压电性能好、低声阻抗、与水和有机体具有良好的声阻抗匹配，从而使灵敏度提高、频带变宽；PVDF薄膜的高柔顺性为压电传感器集成提供良好的技术基础。采用有机薄膜晶体管作为内置信号放大，提高增益和信噪比，改善抗干扰能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 集成化 超声 换能器 | ||
【主权项】：
一种柔性集成化超声换能器，其特征在于由有机薄膜晶体管和压电传感器集成而成，具体是依次由基底、防潮隔离层、源漏电极、半导体薄膜层、栅介质层、栅电极层、电信号耦合层、压电薄膜层、电极层和超声耦合层构成。
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