[实用新型]卧式真空镀膜机自动装、卸片机构无效
| 申请号： | 201020218906.8 | 申请日： | 2010-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN201722426U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 黄国兴;孙桂红;祝海生;郭爱云;黄乐 | 申请（专利权）人： | 湘潭宏大真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 湘潭市汇智专利事务所 43108 | 代理人： | 魏娟 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方。本实用新型结构简单、运行可靠、自动化程度高、可自动精确装载及卸载基片；可实现工业化生产，适于与各种型号的卧式真空镀膜机配套使用。 | ||
| 搜索关键词： | 卧式 真空镀膜 自动 机构 | ||
【主权项】：
卧式真空镀膜机自动装、卸片机构，包括机架、第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构、第二基片传送机构，其特征在于：在所述机架的一端设有所述第一基片传送机构，在所述机架另一端设有所述第一基片架传送机构；在所述机架内设有所述第二基片架传送机构；所述第二基片架传送机构中心设有矩形通孔；所述第一基片架传送机构、第二基片架传送机构、第一基片传送机构在高度方向位置相匹配；所述第二基片传送机构通过汽缸活塞与所述第二基片架传送机构固连并处于所述第二基片架传送机构下方。
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