[实用新型]排气管路无效
| 申请号： | 201020180799.4 | 申请日： | 2010-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201729878U | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 刘兆虎;曾海;谢诚;杨全 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/44 | 分类号： | C23C16/44 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 430205 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种排气管路，用于化学气相淀积设备，包括：歧管；第一管路，一端与所述歧管相连；以及第二管路，一端与所述歧管相连；其中，所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管内部，所述延伸部的末端接近所述歧管的出气口。所述第一管路内的气体与所述第二管路内的气体方向一致，而避免由于两股气体对冲而导致的气体回流现象，保证TiN薄膜的质量，且所述第二管路内的气体不会直接冲击压力表，压力表可准确测量出反应腔内的压力，并延长压力表的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 管路 | ||
【主权项】：
一种排气管路，用于化学气相淀积设备，其特征在于，包括：歧管；第一管路，一端与所述歧管相连；以及第二管路，一端与所述歧管相连；其中，所述第二管路的一端具有一延伸部延伸至所述歧管内部，所述延伸部的末端接近所述歧管的出气口。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
