[发明专利]制绒系统及制绒方法

摘要

本发明提供一种制绒系统及制绒方法，属于太阳电池技术领域。该制绒系统用于在单晶硅片表面形成绒面，其包括：用于盛放制绒液并使单晶硅片在其中反应的制绒槽；用于离线检测所述制绒液中各组分的浓度值的离线浓度检测装置；以及用于根据所述离线浓度检测装置所检测的浓度值向所述制绒槽中补充对应的组分以使所述制绒液各组分的浓度值保持在预定的浓度范围内的补充装置。该制绒方法通过制绒液腐蚀单晶硅片的表层，并离线检测所述制绒液中各组分的浓度值，并根据该浓度值的结果进行组分补充，以使所述制绒液的各组分的浓度值保持在预定的浓度范围。本发明具有制绒液各组分浓度相对精确可控、一致性稳定性好、制绒液使用寿命长、成本低的特点。

主权项

一种制绒系统，用于在单晶硅片表面形成绒面，其特征在于，包括：制绒槽，其用于盛放制绒液并使所述单晶硅片在所述制绒液中反应；离线浓度检测装置，其用于离线检测所述制绒液中各组分的浓度值；以及补充装置，其用于根据所述浓度检测装置所检测的浓度值向所述制绒槽中补充对应的组分以使所述制绒液各组分的浓度值保持在预定的浓度范围内。