[发明专利]主动驱动线缆台有效
| 申请号： | 201010592637.6 | 申请日： | 2010-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN102540739A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 黄剑飞;阮冬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的主动驱动线缆台用于支撑和驱动管线设施，包括两个线缆台气浮垫，设置在所述两个线缆台气浮垫上的气浮导轨、套在所述气浮导轨上的气浮滑块、管线设施、以及与所述管线设施的排线和排管连接并驱动所述排线和排管与所述气浮滑块一起沿所述气浮导轨移动的主动驱动机构，所述气浮导轨为圆柱体状的气浮导轨；所述气浮滑块设有圆孔，所述气浮滑块通过该圆孔套在所述气浮导轨上；所述气浮滑块与所述气浮导轨之间形成圆周型气浮面。本发明的主动驱动线缆台通过降低线缆台的质量降低线缆台对工件台粗动控制的附加力矩，从而降低控制难度。 | ||
| 搜索关键词： | 主动 驱动 线缆 | ||
【主权项】：
一种主动驱动线缆台，用于支撑和驱动管线设施，包括两个线缆台气浮垫，设置在所述两个线缆台气浮垫上的气浮导轨、套在所述气浮导轨上的气浮滑块以及管线设施，其特征在于，还包括与所述管线设施的排线和排管连接并驱动所述排线和排管与所述气浮滑块一起沿所述气浮导轨移动的主动驱动机构，所述气浮导轨为圆柱体状的气浮导轨；所述气浮滑块设有圆孔，所述气浮滑块通过该圆孔套在所述气浮导轨上；所述气浮滑块与所述气浮导轨之间形成圆周型气浮面。
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