[发明专利]一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法有效
申请号: | 201010591903.3 | 申请日: | 2010-12-16 |
公开(公告)号: | CN102070144A | 公开(公告)日: | 2011-05-25 |
发明(设计)人: | 李世江;侯红军;杨华春;于贺华;薛旭金;刘海霞;孙永明;王慧;施秀华 | 申请(专利权)人: | 多氟多化工股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/029 | 分类号: | C01B33/029;C01B33/021 |
代理公司: | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人: | 陈浩 |
地址: | 454191 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明涉及一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法。以磷肥副产物氟硅酸钠热解得到的四氟化硅和四氢铝钠为原料制得硅烷,硅烷裂解制得多晶硅和氢气,其中氢气进入循环,用于四氟铝钠的氢化。反应过程中副产的氢氟酸用于生产氟化盐产品。本发明提供的生产多晶硅的方法,以副产物为原料,价格低廉,工艺简单,易于操作,环保节能,生产的多晶硅杂质含量低,纯度高,且生产中的副产物氢氟酸又可用于生产氟化盐产品,进一步降低生产成本,具有较好的经济效益、社会效益和环保效益。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 磷肥 副产物 硅酸钠 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】:
一种利用磷肥副产物氟硅酸钠生产多晶硅的方法,其特征在于,以磷肥副产物氟硅酸钠热解得到的四氟化硅和四氢铝钠为原料制得硅烷,硅烷裂解制得多晶硅。
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