[发明专利]涂布单元以及使用该涂布单元的图案修正装置有效
| 申请号： | 201010544371.8 | 申请日： | 2010-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN102049366A | 公开（公告）日： | 2011-05-11 |
| 发明（设计）人： | 小池孝志 | 申请（专利权）人： | NTN株式会社 |
| 主分类号： | B05C5/00 | 分类号： | B05C5/00;B05C11/00;B05C11/10;G02F1/1368;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 胡晓萍 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种涂布单元以及图案修正装置，其能以简单的结构迅速地进行预喷构件的退让和涂布元件的下降。所述涂布单元(19)包括：驱动装置(47)，该驱动装置(47)在进行预喷动作时将预喷板(36)插入涂布部(20)与基板(1)之间，在预喷动作结束后，使预喷板(36)从涂布部(20)与基板(1)之间退让；以及X工作台(43)(仿形机构)，该X工作台(43)随着插入预喷板(36)而使涂布部(20)上升，并随着预喷板(36)退让而使涂布部(20)下降。因此，能以简单的结构迅速地执行预喷板(36)的退让和涂布部(20)的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 以及 使用 图案 修正 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布单元，包括：涂布元件，该涂布元件对基板上的微小区域涂布液状材料；预喷构件，该预喷构件承接所述涂布元件预喷的液状材料；驱动元件，在进行所述液状材料的预喷的预喷动作时该驱动元件将所述预喷构件插入所述涂布元件与所述基板之间，在所述预喷动作结束之后该驱动元件使所述预喷构件从所述涂布元件与所述基板之间退让；以及仿形机构，该仿形机构设置在所述涂布元件与所述预喷构件之间，其随着所述预喷构件插入到所述涂布元件与所述基板之间而使所述涂布元件上升，并随着所述预喷构件从所述涂布元件与所述基板之间退让而使所述涂布元件下降。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NTN株式会社，未经NTN株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010544371.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：减少燃料消耗和成本的方法
- 下一篇：一种终端安全上网方法和装置
