[发明专利]溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法

摘要

本发明涉及溅镀用旋转靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋转靶材粘接方法。溅镀用旋转靶材的粘接方法包括如下步骤：(a)将背板和靶材加热至一定温度以上；(b)各在经加热的背板的外周面和靶材的内周面，涂布粉末状铟并熔融的同时，利用刷子或超声波表面处理器机进行表面处理；(c)冷却经表面处理的背板和靶材；(d)在经冷却的背板的外周面上结合靶材并固定于平板上；(e)将固定的背板和靶材加热至一定温度以上；(f)在加热背板和靶材的同时，使其振动；(g)在加热并振动背板和靶材的同时，向背板和靶材的空间投入粉末状媒介粉末；(h)熔融投入铟并使其均匀分布；及(i)在停止加热及振动背板和靶材的状态下进行冷却。

主权项

一种溅镀用旋转靶材的粘接合成物，在可旋转地设置于溅镀用真空室并被驱动电机驱动旋转地同时，施加高电压的溅镀用旋转靶材的呈圆筒形的背板外周面，粘接结合圆筒形靶材，而上述溅镀用旋转靶材的粘接合成物由如下物质混合制备而成：5～50重量％的铟；及50～95重量％的非磁性体且比重大于铟的媒介粉末。