[发明专利]磷扩散炉管两端进气装置有效
| 申请号： | 201010296476.6 | 申请日： | 2010-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102094247A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 方智 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及扩散炉技术领域，特别是一种磷扩散炉管两端进气装置。它包括两根在炉管内延伸的进气管，每根进气管的两端均连接到气源，每根进气管两端通入的为同一种反应气体，并可通过阀门调节两端的进气比率，一根进气管通入O2，一根进气管通入POCl3，进气管上有均匀分布的出气孔，出气孔的出气方向平行与硅片表面，两根进气管分别通入不同的反应气体。本发明通过从炉口，炉尾同时通进反应气体，达到调整管内气体分布，改善方阻均匀性的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散 炉管 两端 装置 | ||
【主权项】：
一种磷扩散炉管两端进气装置，其特征是：包括两根在炉管(1)内延伸的进气管(2)，每根进气管(2)的两端均连接到气源，每根进气管(2)两端通入的为同一种反应气体，并通过阀门调节每根进气管的两端的进气比率，进气管(2)上有均匀分布的出气孔(3)，出气孔(3)的出气方向平行与硅片(4)表面，两根进气管(2)分别通入不同的反应气体。
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