[发明专利]载置台机构和等离子体处理装置

摘要

本发明涉及一种载置台机构和采用该机构的等离子体处理装置，通过减小向吸盘电极施加直流电压时和切断直流电压时的吸盘等效电路的时间常数，迅速进行电荷的蓄积和电荷的释放。该载置台机构载置被处理体(W)，设在处理容器(52)内，包括载置台(84)、内部设有吸盘电极(114)的静电吸盘(86)、经由供电线(116)连接吸盘电极(114)的直流高压电源(120)、设在供电线(116)中途的吸盘用开关部(124)和阻止高频电力进入用滤波部(118)、检测载置台(84)的直流成分用的直流成分检测电路(96)和控制开关部(124)的开关控制部(112)，滤波部(118)不含电阻元件，由电容元件和感应元件形成。

主权项

一种载置台机构，设置在能够被真空排气的处理容器内，载置利用通过高频电力产生的等离子体进行规定的等离子体处理的被处理体，该载置台机构的特征在于，包括：用于载置所述被处理体的、由导电部件构成的载置台；配置在所述载置台的上表面、为了吸附所述被处理体而在内部设置有吸盘电极的静电吸盘；为了施加产生静电力的直流电压而经由供电线连接在所述吸盘电极上的直流高压电源，在该供电线的中途设置有用于阻止高频电力进入的滤波部；插设在所述供电线的中途、在吸附所述被处理体时被闭合的吸盘用开关部；为了检测在所述等离子体处理时施加在所述载置台上的直流成分而被连接在所述载置台上的直流成分检测电路；和控制所述吸盘用开关部的开关控制部，所述滤波部不包括电阻元件而由电容元件和感应元件形成。