[发明专利]光致抗蚀剂组合物无效
| 申请号： | 201010247395.7 | 申请日： | 2010-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101995769A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 畑光宏;增山达郎 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F220/18;C08F222/14;C07C229/56;C07C229/36;C07C229/08;C07C227/20;C07D207/16;C07D295/15 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 柳春琦 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物，在式(C1)中，Rc2表示可以具有一个或多个取代基的C7-C20芳烷基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团，在式(1)中，Rc3和Rc4各自独立地表示氢原子或直链，支链或环状C1-C12脂族烃基，Rc5表示C1-C30二价有机基团，并且Rc3和Rc4或Rc5可以彼此结合以与Rc3和Rc4或Rc5结合的氮原子一起形成环。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物：![]()
其中Rc2表示可以具有一个或多个取代基的C7-C20芳烷基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团：![]()
其中Rc3和Rc4各自独立地表示氢原子或直链，支链或环状C1-C12脂族烃基，Rc5表示C1-C30二价有机基团，并且Rc3和Rc4或Rc5可以彼此结合以与Rc3和Rc4或Rc5结合的氮原子一起形成环。
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