[发明专利]糊剂涂敷装置

摘要

本发明提供一种糊剂涂敷装置，其能够向表面形成有级差的基板的该表面准确地涂敷糊剂。该糊剂涂敷装置具有：距离检测单元，其在测定位置上检测到达上述基板表面的距离；控制单元，其根据上述距离检测单元的检测值来控制上述垂直移动机构，调整上述喷嘴的末端与上述基板之间的间隔；以及存储单元，其在对表面形成有上侧面与下侧面的级差的基板涂敷糊剂的情况下，存储作为上述上侧面与上述下侧面之间高低差的深度值，控制单元构成为：在按设定的图案将糊剂涂敷于基板上的过程中，当上述测定位置处于上述上侧面以及上述下侧面中与上述涂敷位置不同的面上时，根据存储于存储单元中的深度值，控制基于距离检测单元的检测值的垂直移动机构的移动量。

主权项

一种糊剂涂敷装置，其具有与载置于工作台上的基板相对配置并向上述基板的表面喷出糊剂的喷嘴，该糊剂涂敷装置将来自该喷嘴的糊剂按预先设定的图案涂敷在上述基板的表面上，其中，该糊剂涂敷装置具有：垂直移动机构，其使上述喷嘴在与上述基板的表面垂直的方向上相对于该基板进行相对移动；距离检测单元，其在相对于涂敷位置为邻近位置关系的测定位置上检测距上述基板的表面的距离，该涂敷位置是上述基板上的与上述喷嘴相对的位置；控制单元，其根据上述距离检测单元的检测值来控制上述垂直移动机构，调整上述喷嘴的末端与上述基板之间的间隔；以及存储单元，其在向表面形成有上侧面与下侧面的级差的基板涂敷糊剂的情况下，存储作为上述上侧面与上述下侧面之间的高低差的深度值，上述控制单元在将上述糊剂按上述设定的图案涂敷在上述基板上的过程中，当上述测定位置处于上述上侧面与上述下侧面中与上述涂敷位置不同的面上时，根据存储于上述存储单元中的上述深度值，控制上述垂直移动机构的基于上述距离检测单元的检测值的移动量。