[发明专利]供液系统、供液方法及涂布装置在审
| 申请号： | 201010229593.0 | 申请日： | 2010-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102039258A | 公开（公告）日： | 2011-05-04 |
| 发明（设计）人： | 古川正;五十岚昭彦 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | B05C11/10 | 分类号： | B05C11/10;B05C11/11;B05C5/00 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 日本东京都新宿*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种安全性、经济性、生产率优良的涂布装置的供液系统等。用于向涂布装置(100)的涂布部(120)供给药液的供液系统(1)具备用于储存药液的缓冲罐(3)；管路(5-1)；与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给药液的管路(5-2)；与缓冲罐(3)连接并用于向缓冲罐(3)供给加压用气体的管路(5-4)；与缓冲罐(3)以及喷出部(13)、涂布喷嘴(14)等涂布部(120)连接，用于自缓冲罐(3)向涂布部(120)供给液体的管路(5-5)。管路(5-1)、管路(5-2)能够可拆卸地与树脂制容器(17)连接，管路(5-1)能够向连接的树脂制容器(17)供给气体。 | ||
| 搜索关键词： | 系统 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种供液系统，用于向涂布装置的涂布部供给液体，其特征在于，具备：储存部，用于储存液体；第1流道；第2流道，与所述储存部连接，用于向所述储存部供给液体；第3流道，与所述储存部连接，用于向所述储存部供给气体；第4流道，与所述储存部以及所述涂布部连接，用于自所述储存部向所述涂布部供给液体；所述第1流道、所述第2流道能够可拆卸地连接规定容器，所述第1流道能够向连接的所述规定容器供给气体。
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