[发明专利]一种集成有增透膜的碲镉汞红外焦平面及增透膜制备方法

摘要

本发明公开了一种集成有增透膜的光伏型碲镉汞红外焦平面及增透膜制备方法，该方法可以在保持碲镉汞红外焦平面模块结构的情况下，采用磁控溅射制备方法，通过工艺参数优化，低温生长了在特定的工作波段3.5～5um具有良好的增透射特性的增透薄膜，同时保证薄膜与碲镉汞红外探测器芯片衬底表面有很好的附着性，在高低温度变化过程中不脱落不改变性能。

主权项

一种集成有增透膜的中波光伏型碲镉汞红外焦平面，它由增透膜(1)、碲镉汞芯片(2)、衬底(3)、碲镉汞芯片上的铟柱阵列(4)、信号读出电路的铟柱阵列(5)、键压引线(7)、信号读出电路(8)；聚氨酯改性环氧树脂(9)和宝石片引线基板(11)构成，其特征在于：所述的衬底(3)减薄抛光至40～50微米；所述的增透膜(1)是直接镀制在衬底(3)上的ZnS薄膜。