[发明专利]高密集成线路的加工方法有效
| 申请号： | 201010193150.0 | 申请日： | 2010-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN101861056A | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 魏厚斌;李雷;王南生;刘金峰 | 申请（专利权）人： | 深南电路有限公司 |
| 主分类号： | H05K3/02 | 分类号： | H05K3/02;H05K3/06 |
| 代理公司： | 深圳市深佳知识产权代理事务所(普通合伙) 44285 | 代理人： | 彭愿洁;李文红 |
| 地址： | 518053 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种高密集成线路的加工方法，包括：步骤1：测量相邻实际图形之间的间距a，和补偿图形之间的最小间距b，其中，b＜a；步骤2：当所述最小间距b小于加工尺寸c时，切削补偿图形最小间距处的金属层，其切削尺寸分别为Δb′和Δb，使得c≤b+Δb′+Δb＜a。通过采用上述加工方法，将补偿工艺后的图形局部切削掉，得到满足加工过程中的间距要求，使得加工刀具更好的切削图形中多余的部分，提高了加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 高密 集成 线路 加工 方法 | ||
【主权项】：
一种高密集成线路的加工方法，其特征在于，包括：步骤1：测量相邻实际图形之间的最小间距a，和补偿图形之间的最小间距b，其中，b＜a；步骤2：当所述最小间距b小于加工尺寸c时，切削补偿图形最小间距处的金属层，其切削尺寸分别为Δb′和Δb，使得c≤b+Δb′+Δb＜a，所述加工尺寸c为刀具的宽度。
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