[发明专利]自动化光电晶体炉的生长前阶段控制方法

摘要

本发明涉及一种自动化光电晶体炉的生长前阶段控制方法，该晶体炉包括炉体及提拉杆，还包括加热模块、测温模块、温控模块、提拉模块、旋转模块、监控模块及控制系统，该方法包括以下步骤：将炉体晶料加热融化；提拉杆下晶，使提拉杆上籽晶进入炉体液面下，当液体吸附到籽晶时，进入下步骤；提拉及转动提拉杆，进入缩颈过程，监控模块读取炉体内剩余晶体重量，若监测晶体生长速率为负值，降低加热温度；若监测生长速率为正值且很大，升高加热温度；当缩颈部分达到预设长度，结束缩颈过程；加快晶体的生长速率，使晶体直径由小变大，直至达到预设晶体直径，完成生长前阶段。

主权项

一种自动化光电晶体炉的生长前阶段控制方法，该晶体炉包括装有熔融晶体的炉体及用于提拉晶体的提拉杆，还包括对炉体进行加热的加热模块、实时测量炉体温度的测温模块、根据炉体测量的温度控制加热模块的温控模块、调节提拉杆提拉速度的提拉模块、调节提拉杆旋转速度的旋转模块、对炉体内剩余晶体重量作监控的监控模块及与各个模块相连接的控制系统，其特征在于，该控制方法包括以下步骤：a、通过加热模块将炉体内的晶料加热融化；b、提拉模块控制提拉杆下晶，使提拉杆上的籽晶的下端进入炉体液面以下，当部分液体被吸附到籽晶上时，进入步骤c；c、提拉模块及旋转模块提拉及转动提拉杆，进入缩颈过程，监控模块不断读取炉体内剩余晶体的重量，如果监测到晶体生长速率为负值，则控制系统通过加热模块降低加热温度；如果监测到生长速率为正值且超过一上限值时，则控制系统通过加热模块升高加热温度；当缩颈部分达到预设长度，自动结束缩颈过程，进入步骤d；d、通过提拉模块及旋转模块控制，不断加快晶体的生长速率，使晶体直径由小变大，直至达到预设的晶体直径，完成生长前阶段。