[发明专利]用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室

摘要

本发明公开了一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，气体注射器设置在腔壁的上端，承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。本发明在工艺腔室内增加了支撑架，并采用支撑架上的支撑栓对加热的玻璃进行支撑，支撑栓采用点接触，且比较分散，同时，支撑点也不局限于边缘，因而玻璃放在支撑栓上后，热传递慢且传递量小，玻璃表面温差小，因此，镀膜时，玻璃的镀层较为均匀，色差小。

主权项

一种用于半导体太阳能镀膜的工艺腔室，包括腔壁、气体注射器、承受器以及支撑架，所述的气体注射器设置在腔壁的上端，所述的承受器设置在气体注射器的下端，其特征在于：还包括一支撑栓底板，该支撑栓底板设置在承受器的下端，在所述的支撑栓底板上设置有至少三个支撑栓，该至少三个支撑栓用于支撑一平面构件，在所述的承受器上设置有支撑栓孔，所述的承受器套在所述的支撑栓上。