[发明专利]一种热解石墨的金属化工艺及焊接方法无效
申请号: | 201010162302.0 | 申请日: | 2010-04-28 |
公开(公告)号: | CN102234764A | 公开(公告)日: | 2011-11-09 |
发明(设计)人: | 马天军;赵世柯;苏小保;邓峰;胡京军;王鑫 | 申请(专利权)人: | 中国科学院电子学研究所 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;B23K1/012 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 周国城 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种热解石墨的金属化工艺及焊接方法,涉及真空器件技术,该金属化方法,采用真空多弧离子镀技术在热解石墨基体表面沉积镀层,该焊接方法,是将热解石墨零件和需要焊接的部件放在氢气炉中焊接。本发明方法,通过对热解石墨基体表面金属化,使其可以很好的与陶瓷或其他金属进行焊接,达到气密封接,解决了封接中存在的技术难题,大大促进了微波电真空器件的发展。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 金属化 工艺 焊接 方法 | ||
【主权项】:
一种热解石墨的金属化工艺方法,其特征在于,包括步骤:a)将热解石墨材料加工成具体的零件,形成基体;b)对热解石墨基体进行表面预处理;c)采用真空多弧离子镀技术在热解石墨基体表面沉积镀层;d)经镀层的后期处理,得成品。
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