[发明专利]一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法有效
| 申请号： | 201010153380.4 | 申请日： | 2010-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN101839706A | 公开（公告）日： | 2010-09-22 |
| 发明（设计）人： | 唐洁影;袁洁 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01B21/02 | 分类号： | G01B21/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210009 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微悬臂梁接触长度的测量结构及其方法，该测量结构包括衬底和两个尺寸相同的金属悬臂粱，所述衬底上设有悬臂梁锚区、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极、分别对应于两个悬臂粱的两个衬底接触电极；所述悬臂粱通过悬臂梁锚区位置对称地并行固定在衬底上方；所述两个衬底接触电极材料相同，其中一个衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成。测量时，在静电激励下悬臂梁自由端与衬底上的两条以上的窄条电极相接触时，将使相应的窄条电极接通，通过测试各窄条电极之间的连通状况判断悬臂梁与衬底接触的位置，从而确定悬臂梁的接触长度。本发明提供的测量结构简单，测量方法容易并且能够实现在线测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 接触 长度 测量 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种微悬臂梁接触长度的测量结构，其特征在于：所述测量结构包括衬底(1)、两个尺寸及材料相同的金属悬臂粱(31)和悬臂粱(32)；所述衬底(1)上设有悬臂梁锚区(2)、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极(4)、对应于悬臂粱(31)的普通衬底接触电极(5)和对应于悬臂粱(32)的衬底接触电极；所述悬臂粱(31)和悬臂粱(32)通过悬臂梁锚区(2)位置对称地并行固定在衬底(1)上方；所述对应于悬臂粱(31)的普通衬底接触电极(5)和对应于悬臂粱(32)的衬底接触电极材料相同；所述对应于悬臂粱(32)的衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成，所述窄条电极末端连接有压焊块。
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