[发明专利]多重气体耦合金属有机物化学气相沉积设备反应腔体

摘要

一种多重气体耦合金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，包括反应气体进气管道，喷淋盘、喷淋口、喷淋冷却腔、载片盘、衬底、反应腔、反应腔冷却腔、石英整流罩、缓冲喷淋腔、支承轴、加热器，所述缓冲喷淋腔与反应腔之间依次设有上、中、下喷淋盘，喷林口一穿过上喷淋盘、中喷淋盘及下喷淋盘，连通喷淋缓冲腔与反应腔，喷淋口二穿过中喷淋盘、下喷淋盘，连通喷淋缓冲腔与反应腔，一进气管道从一侧接入中喷淋腔。本发明的优点是反应腔具有水平和垂直方向的气流流场，通过垂直方向气流与水平方向气流的相互补偿，使反应气体混合均匀、减少预反应及气体反弹的湍流，抑制了反热涡流，提高外延生长的均匀性也解决了腔体内附着颗粒的清洗问题。

主权项

一种多重气体耦合金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，包括：反应气体A进气管道(1)、反应气体B进气管道(2)、反应气体C进气管道(3)、反应气体D进气管道(4)、反应气体E进气管道(22)、上喷淋盘(24)、中喷淋盘(25)、下喷淋盘(26)、喷淋口一(8)、喷淋口二(23)、中喷淋腔(27)、喷淋冷却腔(6)、喷淋冷却液进口(16)、喷淋冷却液出口(15)、载片盘(10)、衬底(11)、反应腔(14)、反应腔冷却腔(21)、反应腔冷却液进口(18)、反应腔冷却液出口(19)、石英整流罩(20)、排气口(13)、缓冲喷淋腔(7)、腔体外壳(17)、缓冲挡板(5)、支承轴(9)、加热器(12)，反应气体A进气管道(1)从反应腔(14)顶端接入，反应腔(14)下方设有载片盘(10)，载片盘(10)的上部设有喷淋口一(8)，反应气体B进气管道(2)、反应气体C进气管道(3)及反应气体D的进气管道(4)同轴包裹在反应气体A进气管道(1)的外壁上，加热器(12)与反应腔(14)由石英整流罩(20)隔开，腔体外壳(17)与反应腔(14)之间设有一层反应腔冷却腔(21)，载片盘(10)下部设有加热器(12)，排气口(13)位于反应腔(14)的底部，其特征在于所述缓冲喷淋腔(7)与反应腔(14)之间依次设有上喷淋盘(24)、中喷淋盘(25)、下喷淋盘(26)，反应气体E进气管道(22)从一侧接入上喷淋盘(24)与中喷淋盘(25)之间的中喷淋腔(27)，喷淋冷却液进口(16)与喷淋冷却液出口(15)安装于中喷淋盘(25)、下喷淋盘(26)之间，喷林口一(8)垂直于载片盘(10)，穿过上喷淋盘(24)、中喷淋盘(25)及下喷淋盘(26)，连通喷淋缓冲腔(7)与反应腔(14)，喷淋口二(23)垂直于载片盘(10)，穿过上中喷淋盘(25)及下喷淋盘(26)，连通中喷淋腔(27)与反应腔(14)。