[发明专利]紫外线照射装置有效

专利信息
申请号: 201010142699.7 申请日: 2010-03-18
公开(公告)号: CN101840855A 公开(公告)日: 2010-09-22
发明(设计)人: 久我卓也 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/301 分类号: H01L21/301
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明提供不会使搬运复杂化、且不破坏板状物和切削刀片地照射紫外线的紫外线照射装置。其向紫外线固化型载带上贴附着板状物的板状物单元照射紫外线,使载带的粘结剂固化,该载带的外周部安装于环状框架,具有:能收纳多个板状物单元的匣盒;支撑板状物单元的支撑部;从板状物单元的板状物贴附面的反面向载带照射紫外线的紫外线照射单元;将板状物单元从匣盒搬到支撑部,照射紫外线后从支撑部搬入板状物单元的搬运单元;具有允许紫外线通过的期望大小的开口部,在开口部以外遮蔽紫外线的掩模;将掩模在板状物单元及紫外线照射单元间选择性定位的定位单元,掩模定位于板状物单元与紫外线照射单元间时,紫外线照射单元经由开口部向载带照射紫外线。
搜索关键词: 紫外线 照射 装置
【主权项】:
一种紫外线照射装置,其向在紫外线固化型载带上贴附着板状物的板状物单元照射紫外线,使该紫外线固化型载带的粘结剂固化,其中该紫外线固化型载带的外周部安装于环状框架上,其特征在于,该紫外线照射装置具有:匣盒,其能收纳多个该板状物单元;支撑部,其支撑该板状物单元;紫外线照射单元,其从支撑于该支撑部上的该板状物单元的板状物贴附面的反面向该板状物单元的该紫外线固化型载带照射紫外线;搬运单元,其将该板状物单元从该匣盒搬出到该支撑部,并在照射紫外线之后从该支撑部向该匣盒搬入该板状物单元;掩模,其具有允许紫外线通过的期望大小的开口部,在该开口部以外的部分遮蔽紫外线;以及定位单元,其在该板状物单元与该紫外线照射单元之间选择性地对该掩模进行定位,当该掩模被定位于该板状物单元与该紫外线照射单元之间的时候,该紫外线照射单元经由该掩模的该开口部向该紫外线固化型载带照射紫外线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科,未经株式会社迪思科许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201010142699.7/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top