[发明专利]紫外线照射装置有效
申请号: | 201010142699.7 | 申请日: | 2010-03-18 |
公开(公告)号: | CN101840855A | 公开(公告)日: | 2010-09-22 |
发明(设计)人: | 久我卓也 | 申请(专利权)人: | 株式会社迪思科 |
主分类号: | H01L21/301 | 分类号: | H01L21/301 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供不会使搬运复杂化、且不破坏板状物和切削刀片地照射紫外线的紫外线照射装置。其向紫外线固化型载带上贴附着板状物的板状物单元照射紫外线,使载带的粘结剂固化,该载带的外周部安装于环状框架,具有:能收纳多个板状物单元的匣盒;支撑板状物单元的支撑部;从板状物单元的板状物贴附面的反面向载带照射紫外线的紫外线照射单元;将板状物单元从匣盒搬到支撑部,照射紫外线后从支撑部搬入板状物单元的搬运单元;具有允许紫外线通过的期望大小的开口部,在开口部以外遮蔽紫外线的掩模;将掩模在板状物单元及紫外线照射单元间选择性定位的定位单元,掩模定位于板状物单元与紫外线照射单元间时,紫外线照射单元经由开口部向载带照射紫外线。 | ||
搜索关键词: | 紫外线 照射 装置 | ||
【主权项】:
一种紫外线照射装置,其向在紫外线固化型载带上贴附着板状物的板状物单元照射紫外线,使该紫外线固化型载带的粘结剂固化,其中该紫外线固化型载带的外周部安装于环状框架上,其特征在于,该紫外线照射装置具有:匣盒,其能收纳多个该板状物单元;支撑部,其支撑该板状物单元;紫外线照射单元,其从支撑于该支撑部上的该板状物单元的板状物贴附面的反面向该板状物单元的该紫外线固化型载带照射紫外线;搬运单元,其将该板状物单元从该匣盒搬出到该支撑部,并在照射紫外线之后从该支撑部向该匣盒搬入该板状物单元;掩模,其具有允许紫外线通过的期望大小的开口部,在该开口部以外的部分遮蔽紫外线;以及定位单元,其在该板状物单元与该紫外线照射单元之间选择性地对该掩模进行定位,当该掩模被定位于该板状物单元与该紫外线照射单元之间的时候,该紫外线照射单元经由该掩模的该开口部向该紫外线固化型载带照射紫外线。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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