[发明专利]一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜有效
| 申请号： | 201010139802.2 | 申请日： | 2010-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN101798239A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 马颖;时群吉;周益春 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C04B41/80 | 分类号： | C04B41/80 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所 43114 | 代理人： | 颜勇 |
| 地址： | 411105*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种提高无铅铁电薄膜性能的方法及其制备的无铅铁电薄膜。具体涉及无铅铁电薄膜领域的一种利用电离辐照效应来减低无铅铁电薄膜漏电流的方法及其得到的无铅铁电薄膜。其是在室温下，使用带电粒子或者伽马射线等载能粒子束对无铅铁电薄膜进行辐照，其辐照总剂量为10Mrad-100Mrad，辐照后便得到漏电流降低的铁电薄膜。这对提高铁电存储器工作的稳定性和使用寿命，降低发热量有着重要的意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 铅铁 薄膜 性能 方法 及其 制备 | ||
【主权项】：
一种提高无铅铁电薄膜性能的方法，其特征在于：在室温环境下，用载能粒子束对无铅铁电薄膜进行辐照，辐照总剂量为10Mrad-100Mrad。
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