[发明专利]双面反射动镜干涉仪无效
| 申请号： | 201010136882.6 | 申请日： | 2010-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN101793553A | 公开（公告）日： | 2010-08-04 |
| 发明（设计）人： | 杨庆华;汶德胜;赵葆常 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/45;G02B26/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种干涉仪，一种可消除了动镜倾斜及横移问题、所需驱动力小、可获得很高的光谱分辨率以及热稳定性好的双面反射动镜干涉仪，包括分束器、平面反射镜、双面反射动镜、角反射体、双面反射镜驱动系统以及探测收集系统；分束器将入射光分为反射光以及透射光；平面反射镜和角反射体分别设置于两个光路上；双面反射动镜设置于平面反射镜和角反射体的反射光路上；双面反射动镜将入射至双面反射动镜的入射光反射后再经过平面反射镜反射至分束器；探测收集系统设置于最终经分束器透射或反射的出射光路上。本发明采用双面反射动镜，消除了动镜横移问题；采用该干涉光路，消除了动镜倾斜问题，且结构简单、体积小、重量轻，所需驱动力小。 | ||
| 搜索关键词： | 双面 反射 干涉仪 | ||
【主权项】：
一种双面反射动镜干涉仪，其特征在于：所述双面反射动镜干涉仪包括分束器、平面反射镜、双面反射动镜、角反射体、双面反射镜驱动系统以及探测收集系统；所述分束器将入射光分为反射光以及透射光；所述平面反射镜设置于一光路上，所述角反射体设置于另一光路上；所述双面反射镜驱动系统驱动双面反射动镜；所述双面反射动镜设置于平面反射镜和角反射体的反射光路上；所述双面反射动镜将入射至双面反射动镜的入射光反射后再经过平面反射镜反射至分束器；所述双面反射动镜将入射至双面反射动镜的入射光反射后再经过角反射体反射至分束器；所述探测收集系统设置于最终经分束器透射或反射的出射光路上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所，未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010136882.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：密封件密封性能检测装置和方法
- 下一篇：高灵敏度光纤光栅液位/流体压力传感器
