[发明专利]铜铟镓硒靶材的制作方法

摘要

本发明公开了一种铜铟镓硒靶材的制作方法，包含铜铟镓硒化合物制作步骤、铜铟镓硒粉末制作步骤、靶材初坯制作步骤、烧结步骤以及整型步骤，主要是依照原子比例，将铜、铟、镓的金属粉末或其合金粉末以及硒粉以有机溶剂均匀混合，再以高温反应合成为铜铟镓硒化合物，再将铜铟镓硒化合物形成粒径小于5μm的粉末，然后制作为铜铟镓硒靶材。藉由本发明铜铟镓硒靶材制作铜铟镓硒薄膜，可以省略硒化步骤，以确保制程的安全性，同时能够缩减制程时间、减少耗能、增加材料的利用率，进一步改善薄膜的均匀度及晶相，更提升太阳能电池的转换效率。

主权项

一种铜铟镓硒靶材的制作方法，其特征在于，包含：一铜铟镓硒化合物制作步骤，依照一原子比例，在一容器中加入铜、铟、镓的金属或合金粉末、硒粉以及一有机溶剂，再将该容器加热至一反应温度，而使该铜、铟、镓的金属或合金粉与该硒粉均匀混合并进行一合成反应，以合成一铜铟镓硒化合物；一铜铟镓硒粉末制作步骤，包含一球磨步骤以及一干燥造粒步骤，该球磨步骤是将该铜铟镓硒化合物放置于一含有研磨球的容器中，并加入至少一增添剂，以一湿式球磨方式，将该铜铟镓硒化合物研磨为一铜铟镓硒浆料，该干燥造粒步骤是将该铜铟镓硒浆料置入一喷雾干燥机，将铜铟镓硒浆料瞬间干燥为粒径小于5μm的铜铟镓硒粉末；一靶材初胚制作步骤，包含一成型步骤、一强化步骤以及一脱腊步骤，该成型步骤是将该铜铟镓硒粉末以一成型机压制为一胚体，该强化步骤是将该胚体加压，使该胚体实密化，该脱腊步骤是将实密化的该胚体装设一真空炉中，以去除所述增添剂的一部分，而形成烧结前的一初胚；一烧结步骤，是将该初胚装设于一高温炉中，在一真空环境或至少通入一惰性气体以及一还原气体的其中之一的环境下烧结，以形成一烧结胚体；一整型步骤，是将该烧结胚体表面的突起去除，并黏结一导电背板，而完成一铜铟镓硒靶材。