[发明专利]具有寻址功能的巨观检查机及其相关定位方法

摘要

一种具有寻址功能的巨观检查机包含有一基座，用来承载一面板；一多轴传动装置，设置于该基座上；以及一侦测装置，设置于该多轴传动装置上，该侦测装置是用来定位该面板上一缺陷点的位置。该侦测装置包含有一第一影像撷取单元与一第二影像撷取单元，用来取得该面板上一待测区的影像以及至少三参考点的影像、以及一处理器，用来取得该面板上至少三参考点的三个第一坐标以及该缺陷点的一第二坐标，依据该三个第一坐标计算该面板相对于该基座的一转换函数，以及依据该转换函数计算出该缺陷点于该面板上一坐标系统的相对坐标。

主权项

一种具有寻址功能的巨观检查机，其特征在于，包含有：一基座，用来承载一面板；一多轴传动装置，设置于该基座上；以及一侦测装置，设置于该多轴传动装置上，该侦测装置用来定位该面板上一缺陷点的位置，该侦测装置包含有：一第一影像撷取单元，用来取得该面板上至少一参考点的影像；一第二影像撷取单元，用来取得该面板上一待测区的影像以及至少一参考点的影像；以及一处理器，电连接于该多轴传动装置、该第一影像撷取单元以及该第二影像撷取单元，该处理器利用该第一影像撷取单元以及该第二影像撷取单元分别取得该面板上至少三参考点以及该缺陷点于该基座上一第一坐标系统的三个第一坐标以及一第二坐标，依据该三个第一坐标计算该面板相对于该基座的一转换函数，以及依据该转换函数以及该第二坐标计算出该缺陷点于该面板上一第二坐标系统的相对坐标。