[发明专利]一种叠层太阳能电池及其制造方法

摘要

本发明涉及一种叠层太阳能电池及其制造方法，属半导体器件技术领域，用于改善太阳能电池性能。技术方案是：构成中包括衬底（1）以及依次设置于衬底上的底电池、顶电池、透明导电减反膜（8）和金属栅电极（9），所述底电池为薄膜多晶硅异质结电池，由依次沉积于衬底上的N+型重掺杂硅薄膜（2）、N型多晶硅薄膜（3）和第一P型非晶硅薄膜（4）构成；所述顶电池为非晶硅P-I-N结电池，由依次沉积于底电池上的N型非晶硅薄膜（5）、非晶硅本征吸收层（6）和第二P型非晶硅薄膜（7）组成。本发明提高了电池的稳定性，可大大节省原材料，提高电池的开路电压和短路电流，获得更高的转换效率。

主权项

一种叠层太阳能电池，其特征在于包括衬底、底电池、顶电池、透明导电减反膜和金属栅电极，底电池、顶电池、透明导电减反膜（8）和金属栅电极（9）依次设置于衬底（1）上，所述底电池为薄膜多晶硅异质结电池，由依次沉积于衬底（1）上的N+型重掺杂硅薄膜（2）、 N型多晶硅薄膜（3）和第一P型非晶硅薄膜（4）构成；所述顶电池为非晶硅P‑I‑N结电池，由依次沉积于底电池上的N型非晶硅薄膜（5）、 非晶硅本征吸收层（6） 和 第二P型非晶硅薄膜（7）组成。