[发明专利]准分子灯用照度测量装置无效
| 申请号： | 201010116036.8 | 申请日： | 2010-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN101832814A | 公开（公告）日： | 2010-09-15 |
| 发明（设计）人： | 大塚优一;石原肇 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种基本上能够在大气中简单地测量真空紫外光的强度、还能够降低由局部性的放电、及网状电极等的外部电极的影子引起的测量误差的准分子灯用照度测量装置。包括对真空紫外光进行检测的受光传感器和壳体，在上述壳体中，在与受光传感器的受光面相对的位置上，以其一面向外部开口的状态设有导光路空间；并且设有导入惰性气体的气体导入口、以及从这里延伸到导光路空间的气体流路，该装置还具备从气体导入口导入的惰性气体在上述导光路空间沿着包括受光传感器的受光面的面流通后、从导光路空间的开口排出到外部的气体流通机构，从包括受光传感器的受光面的面的垂直方向俯视，导光路空间的开口的面积比受光传感器的受光面的面积大。 | ||
| 搜索关键词： | 分子 照度 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种准分子灯用照度测量装置，包括对真空紫外光进行检测的受光传感器、和包含该受光传感器的壳体，其特征在于，在上述壳体中，在与上述受光传感器的受光面相对的位置上，以其一面向外部开口的状态设有导光路空间；并且设有导入惰性气体的气体导入口、以及从该气体导入口延伸到上述导光路空间的气体流路，上述准分子灯用照度测量装置还具备从上述气体导入口导入的上述惰性气体在上述导光路空间沿着包括上述受光传感器的受光面的面流通后、从该导光路空间的开口排出到外部的气体流通机构，从包括上述受光传感器的受光面的面的垂直方向俯视，上述导光路空间的开口的面积比上述受光传感器的受光面的面积大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于优志旺电机株式会社，未经优志旺电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201010116036.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：模制填料的方法
- 下一篇：用于生产管状中空体的方法和该中空体
