[发明专利]超大面积高质量石墨烯薄膜电极的制备方法无效
申请号: | 201010101217.3 | 申请日: | 2010-01-26 |
公开(公告)号: | CN101760724A | 公开(公告)日: | 2010-06-30 |
发明(设计)人: | 陈远富;王泽高;李言荣 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | C23C16/26 | 分类号: | C23C16/26;C23C16/455;C23F1/14;C03C17/22;C04B41/50 |
代理公司: | 成都立信专利事务所有限公司 51100 | 代理人: | 游兰 |
地址: | 610054 *** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种超大面积高质量石墨烯薄膜电极的制备方法,采用化学气相沉积法,将设置有金属箔片的螺旋型或S型石英槽置于反应器内,通入碳氢化合物催化分解,在金属箔片上得石墨烯薄膜;在上述产物上附着有机胶体,得有机胶体/石墨烯/金属箔片结合体;用金属箔片腐蚀液除去金属箔片,得有机胶体/石墨烯结合体;再用基片将上述步骤产物取出,放入去离子水中,清洗、烘干,得有机胶体/石墨烯/基片结合体;最后,用有机溶剂除去有机胶体,取出,自然干燥,得位于基片上的超大面积高质量石墨烯薄膜电极。本方法操作步骤简单,所得产品面积大,原料成本低,高导电性,高透光率。主要用于半导体、太阳能电池、液晶平板显示等领域。 | ||
搜索关键词: | 超大 面积 质量 石墨 薄膜 电极 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种超大面积高质量石墨烯薄膜电极的制备方法,其特征在于步骤如下:1)将放置有金属箔片的螺旋型或S型石英槽置于反应器内,通入氢气1~1000Pa,加热至700~1000℃,保温0~60分钟,然后再通入碳氢化合物气体0.1~100000Pa,再保温1~60分钟,之后以5~100℃/分钟的速度降温至室温,关闭氢气和碳氢化合物气体,在金属箔片上得石墨烯薄膜;2)在石墨烯薄膜上通过旋涂或喷涂或流延或直接滴有机胶体,于80~180℃温度下烘1~20分钟,得有机胶体/石墨烯/金属箔片结合体;3)将步骤2)所得产物浸渍于金属箔片腐蚀液中,除去金属箔片,得有机胶体/石墨烯结合体;4)用基片将步骤3)产物从金属箔片腐蚀液中取出,放入去离子水中,清洗后置于基片上,于80~180℃温度下烘1~20分钟,得有机胶体/石墨烯/基片结合体;5)将步骤4)所得产物放入去胶溶剂丙酮、乙醇、异丙醇中的一种或一种以上,除去有机胶体,取出,自然干燥,得附着于基片上的超大面积高质量石墨烯薄膜电极。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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