[发明专利]具有改良的性能的切削液有效
| 申请号： | 200980161987.2 | 申请日： | 2009-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN102597189A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 于旺林;D·A·阿奎拉;J·B·卡斯伯特;Y-P·朱 | 申请（专利权）人： | 陶氏环球技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C10M107/34 | 分类号： | C10M107/34;C10M145/26 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇的切削液有利于用线状锯切割半导体晶体。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改良 性能 切削 | ||
【主权项】：
一种用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇。
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