[发明专利]梯度组合物阻挡件无效

专利信息
申请号: 200980145949.8 申请日: 2009-11-02
公开(公告)号: CN102216071A 公开(公告)日: 2011-10-12
发明(设计)人: 马克·A·勒里希;艾伦·K·纳赫蒂加尔;弗雷德·B·麦考密克 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: B32B27/06 分类号: B32B27/06;B32B9/04
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人: 丁业平;金小芳
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 发明总体上涉及具有降低的水蒸气透射率的阻挡组件,以及用于制备所述阻挡组件的方法。所述阻挡组件包括基底和邻近所述基底设置的无机层。所述无机层具有贯穿所述无机层的厚度发生变化的组合物。所述组合物至少包含第一无机材料和第二无机材料,并且所述组合物中所述第一无机材料和所述第二无机材料的相对比率贯穿所述无机层的厚度发生变化。本发明提供了一种用于制备所述阻挡组件的方法,所述方法包括双AC溅射具有不同元素组成的靶对。
搜索关键词: 梯度 组合 阻挡
【主权项】:
一种阻挡组件,包括:基底,其具有第一表面;以及邻近所述第一表面的无机层,所述无机层包含:第一无机材料,以及第二无机材料,其中所述第一无机材料与所述第二无机材料的比率在垂直于所述第一表面的方向上发生变化。
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