[实用新型]掩模板更换装置有效
| 申请号： | 200920223114.7 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN201503858U | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 肖琨;沈鹏;郭慧鹏;宋晓栋;鲁成祝 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/677;G03F1/00 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩模板更换装置，包括存储有掩模板的掩模板贮存房、掩模板工作台和用于将所述掩模板在所述掩模板贮存房和掩模板工作台之间进行移动更换的掩模板存取部件；所述掩模板存取部件包括：掩模板存取叉和掩模板装载臂，所述掩模板装载臂上设置有用于夹持所述掩模板的机械手；所述掩模板装载臂上的位于所述机械手的上方设置有用于在掩模板运送过程中对所述掩模板的上表面进行遮盖保护的上盖。本实用新型使得掩模板在运送过程中伴有该上盖的保护，从而有效阻止了掩模板在运送到掩模板工作台的过程中可能发生的微粒附着问题，避免了后续工艺中因掩模板附着微粒而造成光刻工艺重复性不良，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 更换 装置 | ||
【主权项】：
一种掩模板更换装置，包括：存储有掩模板的掩模板贮存房、掩模板工作台和用于将所述掩模板在所述掩模板贮存房和掩模板工作台之间进行移动更换的掩模板存取部件；所述掩模板存取部件包括：掩模板存取叉和掩模板装载臂，所述掩模板装载臂上设置有用于夹持所述掩模板的机械手；其特征在于，所述掩模板装载臂上的位于所述机械手的上方设置有用于在掩模板运送过程中对所述掩模板的上表面进行遮盖保护的上盖。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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