[实用新型]吸盘结构和机械设备有效
| 申请号： | 200920222561.0 | 申请日： | 2009-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN201500978U | 公开（公告）日： | 2010-06-09 |
| 发明（设计）人： | 简月圆;王丽君;王涛 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种吸盘结构和机械设备。该吸盘结构，包括：吸盘本体，所述吸盘本体的金属支架上设有用于在吸附玻璃基板的过程中喷发气体以防止光刻胶蒸汽进入所述吸盘本体内部的喷气孔，所述喷气孔与所述金属支架上的喷气导气管连接。该机械设备包括该吸盘结构。本实用新型的吸盘结构和机械设备，可以在机械设备伸入热盘时，通过喷气孔喷出N2，防止光刻胶蒸汽进入吸盘本体内部，从而增长了橡胶垫片的更换周期，降低了生产成本，而且可以有效防止玻璃基板在吸附过程中出现破裂或者产生裂纹的现象，提高了生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 吸盘 结构 机械设备 | ||
【主权项】：
一种吸盘结构，其特征在于，包括：吸盘本体，所述吸盘本体的支架上设有用于在吸附物体的过程中喷发气体以防止蒸汽进入所述吸盘本体内部的喷气孔，所述喷气孔与所述支架上的喷气导气管连接。
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