[实用新型]具有内外压力平衡功能的垂直式加热炉有效
| 申请号： | 200920211546.6 | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201522194U | 公开（公告）日： | 2010-07-07 |
| 发明（设计）人： | 董彬;宋大伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;顾珊 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有内外压力平衡功能的垂直式加热炉，所述垂直式加热炉包括外炉管、内炉管、气体反应腔以及气体注入室，所述气体反应腔设置在所述内炉管的内侧，用于容纳承载待处理晶片的晶舟，所述气体注入室设置在所述外炉管的下方，用来通过气体通入/排出管将反应气体输送至所述气体反应腔，其特征在于，所述垂直式加热炉包括一连通到所述气体注入室上的气阀和与所述气阀相连的一针阀。根据本实用新型的具有内外压力平衡功能的垂直式加热炉，解决了由于炉内外气压不平衡而产生气流，致使气流中携带的杂质对进行了反应的晶片表面造成污染的问题，能够有效避免晶舟上晶片的污染，提高良率。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 内外 压力 平衡 功能 垂直 加热炉 | ||
【主权项】：
一种具有内外压力平衡功能的垂直式加热炉，所述垂直式加热炉包括外炉管、内炉管、气体反应腔以及气体注入室，所述气体反应腔设置在所述内炉管的内侧，用于容纳承载待处理晶片的晶舟，所述气体注入室设置在所述外炉管的下方，用来通过气体通入/排出管将反应气体输送至所述气体反应腔，其特征在于，所述垂直式加热炉包括一连通到所述气体注入室上的气阀和与所述气阀相连的一针阀。
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