[实用新型]一种提高利用率的平面磁控溅射靶有效
| 申请号： | 200920201584.3 | 申请日： | 2009-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN201598328U | 公开（公告）日： | 2010-10-06 |
| 发明（设计）人： | 范家秋 | 申请（专利权）人： | 浙江天翀车灯集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人： | 王官明 |
| 地址： | 318020 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种提高利用率的平面磁控溅射靶，其特征在于包括靶材磁控管外套，靶材磁控管外套的底面连接盖板，盖板与靶材磁控管外套之间有冷却水，靶材磁控管外套内部放置磁额，磁额中制有通水孔，磁额上安装永久磁铁，靶材磁控管外套上安装靶材条和靶材条外侧有靶材条固定块，靶材条成平行相间排列，靶材条之间互相交叠，靶材条的表面为平整面，在靶材磁控管外套和靶材条固定块外有靶材屏蔽罩，靶材磁控管外套内与磁额相连的永久磁铁的磁极为NSN或者SNS平行排列，并垂直于靶材条的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 利用率 平面 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种提高利用率的平面磁控溅射靶，其特征在于包括靶材磁控管外套(4)，靶材磁控管外套(4)的底面连接盖板(15)，盖板(15)与靶材磁控管外套(4)之间有冷却水，靶材磁控管外套(4)内部放置磁额(7)，磁额(7)中制有通水孔(8)，磁额(7)上安装永久磁铁(6)，靶材磁控管外套(4)上安装靶材条(1)和靶材条外侧有靶材条固定块(11)，靶材条(1)成平行相间排列，靶材条之间互相交叠，靶材条(1)的表面为平整面，在靶材磁控管外套(4)和靶材条固定块(11)外有靶材屏蔽罩(10)，靶材磁控管外套(4)内与磁额(7)相连的永久磁铁(6)的磁极为NSN或者SNS平行排列，并垂直于靶材条(1)的表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江天翀车灯集团有限公司，未经浙江天翀车灯集团有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920201584.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
