[实用新型]电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源无效
| 申请号： | 200920172903.2 | 申请日： | 2009-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN201495279U | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 熊剑辉 | 申请（专利权）人： | 熊剑辉 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100190 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，包括引弧系统(22)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18)；所述引弧系统(22)由引弧丝(1)、引弧杆(2)、引弧杆外套(4)、引弧线圈外套(5)、线圈支架(6)、引弧线圈外套后盖(7)组成；进水口(25)，出水口(26)位于所述阴极座(15)上，阴极座(15)内水道(27)位于靶材一侧有开口。这样，本实用新型采用电动引弧，提高了弧靶靶材表面的垂直磁场，提高了膜层结合力，使冷却水直接冷却靶材，大大降低了靶材的整体温升，对镀膜质量有了很大的改善。 | ||
| 搜索关键词： | 电动 直接 冷却 阴极 电弧 离子源 | ||
【主权项】：
一种电动引弧直接冷却式阴极电弧离子源，其特征在于：包括引弧系统(22)、阴极座(15)、屏蔽盘(9)、法兰盘(20)、调节盘组件(17)、调节盘螺杆(18)；阴极座(15)与法兰盘(20)之间通过螺钉(23)连接，阴极座绝缘垫(12)位于阴极座(15)与螺钉(23)之间，阴极绝缘套(11)位于阴极座(15)与法兰盘(20)之间，套在阴极座(15)上；调节盘固定件(16)位于调节盘组件(17)与阴极座(15)之间，调节盘螺杆(18)一端与调节盘组件(17)相连，另一端位于阴极座(15)中；屏蔽盘支撑杆(8)位于法兰盘(20)与屏蔽盘(9)之间。
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