[实用新型]保护滚轮的外罩装置

摘要

本实用新型关于一种装置，该装置包括至少一滚轮(2)，用于传送一沉积系统中的基材(1)；及至少外罩构件(6)，其中该滚轮可从基材收回，且该外罩构件被调适成至少部分保护该收回滚轮，以免受到沉积系统中出现的物质所污染。此优点可提高沉积系统的正常运行时间。

主权项

一种装置，其包括：至少一滚轮(2)，其用于传送一沉积系统中的一基材(1)；及至少一外罩构件(6)，其中该滚轮为可离开基材而收回；及该外罩构件被调适成至少部分保护该收回的滚轮，以免受到沉积系统中出现的物质所污染。