[发明专利]一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法及装置

摘要

本发明涉及基于AFM原子力扫描显微镜技术，公开了一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法及装置，本发明通过控制步进电机带动样品台上升，利用激光接收器检测信号来判断样品是否运动到预定位置，完成逼近初调；然后控制压电陶瓷驱动器向上逼近，通过检测光电传感器来判断样品是否接触探针，来完成最终逼近。本发明可以有效解决在样品逼近过程中样品厚度对逼近过程中的影响，减少逼近过程中对探针及样品表面的破坏损伤。

主权项

一种面向纳米观测及纳米操作无损自动逼近方法，其特征在于：包括微米级调整和纳米级调整；所述微米级调整方法包括如下步骤：a.由激光发射器和激光接收器设定预定位置；b.由步进电机驱动样品上升，当样品升并阻断激光时，激光接收器接收这一信号，传给控制器，控制器停止步进电机1运动；所述纳米级调整方法包括如下步骤：c.压电陶瓷驱动器向上逼近，同时检测光电传感器上的由探针反射的激光光斑位置变化信号，如果光斑位置信号产生突变，则说明样品已接触探针，停止逼近，完成逼近过程；d.如果压电陶瓷驱动器运动到最大距离时，光电传感器仍然没有输出突变信号，则压电陶瓷驱动器回到初始位置，再回步骤b进行逼近，直至光电传感器产生突变信号为止，最终完成无损逼近。