[发明专利]磨轮无效
| 申请号： | 200910163333.5 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN101659033A | 公开（公告）日： | 2010-03-03 |
| 发明（设计）人： | 山本节男 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B7/22;B24B57/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈 坚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种磨轮，该磨轮能够减少磨削磨具的修整次数，并且不会使晶片产生裂纹。上述磨轮以装卸自如的方式安装在磨削装置的轮座上，该磨削装置具有：提供磨削液的磨削液供给构件；被驱动而旋转的主轴；以及与该主轴的前端连接的上述轮座，上述磨轮的特征在于，该磨轮包括：环状基座，其具有内周壁、外周壁以及安装在上述轮座上的安装部；和多个磨削磨具，它们呈环状地配设在上述环状基座的自由端部，在上述环状基座的上述外周壁上沿着圆周方向隔开预定间隔地形成有多个贯通孔，该多个贯通孔贯通至上述内周壁，用于将磨削屑与磨削液一起排出。 | ||
| 搜索关键词： | 磨轮 | ||
【主权项】：
1.一种磨轮，其以装卸自如的方式安装在磨削装置的轮座上，该磨削装置具有：提供磨削液的磨削液供给构件；被驱动而旋转的主轴；以及与该主轴的前端连接的上述轮座，上述磨轮的特征在于，该磨轮包括：环状基座，其具有内周壁、外周壁以及安装在上述轮座上的安装部；和多个磨削磨具，它们呈环状地配设在上述环状基座的自由端部，在上述环状基座的上述外周壁上沿着圆周方向隔开预定间隔地形成有多个贯通孔，该多个贯通孔贯通至上述内周壁，用于将磨削屑与磨削液一起排出。
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