[发明专利]纳米压印用固化性组合物、图案形成方法无效
| 申请号： | 200910149348.6 | 申请日： | 2009-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN101609255A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 高柳丘;藤田明德 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱 丹 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种适于旋转涂布或缝隙涂布的可形成微细图案且光固化后相对基板的附着力高从而容易剥离抗蚀剂的纳米压印(nanoimprint)用固化性组合物，其中，含有单官能聚合性化合物87质量％以上和光聚合引发剂。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 压印 固化 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1.一种纳米压印用固化性组合物，其特征在于，含有光聚合引发剂和87质量％以上的单官能聚合性化合物。
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