[发明专利]针迹检查装置、探测装置、和针迹检查方法有效
| 申请号： | 200910143026.0 | 申请日： | 2009-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN101587084A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 梅原康敏;月嶋慎;河野功;佐野聪 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供针迹检查装置、具有该装置的探测装置、以及针迹检查方法，其能够对检查之后的基板自动且高精度地检测电极垫的基底层的露出的有无等的露出状况。针迹检查装置包括：从摄像数据(D1)中抽出针迹区域(13)的针迹区域抽出部(50)，其中，该摄像数据(D1)是通过对电极垫(2)进行摄像的上照相机(72)得到的；对于针迹区域(13)，取得使在该针迹区域的长度方向延伸的中心线(P)上的像素的位置与像素的灰度级对应的灰度图案的灰度级数据取得部(51)；以及基于得到的灰度图案、和基底层(6)从针迹(10)露出时的基准图案，判定基底层(6)是否露出的深挖判定部(53)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 探测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种针迹检查装置，其在使探针与被检查基板上的电极垫接触而进行电测量之后，对形成在所述电极垫上的针迹进行摄像，检查电极垫的基底层的露出的有无，该针迹检查装置的特征在于，包括：对电极垫进行摄像的摄像机构；从通过该摄像机构得到的图像数据抽出针迹区域的图像数据的机构；针对通过该机构得到的针迹区域的图像数据，取得使在针迹区域的宽度方向的中央位置在该针迹区域的长度方向上延伸的线上的像素的位置与像素的灰度级对应的灰度级图案的机构；和基于通过该机构得到的灰度级图案、和根据基底层从针迹露出时的所述灰度级图案决定的基准图案，判定基底层是否露出的判定机构。
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