[发明专利]耐磨耗薄膜结构、模具及其制造方法有效
申请号: | 200910127256.8 | 申请日: | 2009-03-12 |
公开(公告)号: | CN101830089A | 公开(公告)日: | 2010-09-15 |
发明(设计)人: | 甘明吉;陈嘉延;宋健民;胡绍中 | 申请(专利权)人: | 中国砂轮企业股份有限公司 |
主分类号: | B32B9/04 | 分类号: | B32B9/04;B32B7/02;C23C16/22;C23C16/455 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种耐磨耗薄膜结构,该耐磨耗薄膜结构包括一中间层、一渐进层及一类钻碳层,渐进层形成于中间层上,类钻碳层形成于渐进层上,而类钻碳层含有一掺杂物。在类钻碳层中添加掺杂物,用以降低类钻碳层的内应力及其摩擦系数。本发明也揭露使用上述薄膜结构的模具及其制作方法。本发明通过中间层与渐进层的原子结构分别与基板和类钻碳层相似,因此,类钻碳层能通过中间层与渐进层的设计而不易由基板上剥落。另外,在类钻碳层中添加氢、氟、氮和硅等元素,以降低类钻碳层的内应力及其摩擦系数。 | ||
搜索关键词: | 耐磨 薄膜 结构 模具 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种耐磨耗薄膜结构,用于一模具,其特征在于,包括:一中间层;一渐进层,形成于该中间层上;以及一类钻碳层,形成于该渐进层上,该类钻碳层含有一掺杂物。
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