[发明专利]多参数调节光束聚焦装置

摘要

本发明涉及多参数调节光束聚焦装置。现有技术无法实现光束振幅、偏振态和波前相位同时调解，无光学空间滤波功能，使用不便利。本发明中光源出射光束经过衰减器调节振幅，通过偏振态调节器调节光束偏振态分布，利用相位调节器调节波前相位分布，并且由两个共焦放置的透镜形成频谱面，通过频谱面上空间滤波器对光束进行光频信息处理，经过物镜聚焦成焦点，同时利用光谱分光镜将由监视光源、监视分光镜和光电成像部件构成的监视光路耦合到聚焦光路上，对焦点区域情况进行监视。本发明使用便利、调节简单，是具有监视光路的振幅、相位、偏振、频谱信息多参数可调的聚焦装置。

主权项

1、多参数调节光束聚焦装置，包括系统光源、扩束准直器、衰减器、偏振态调节器、相位调节器、入射透镜、空间滤波器、出射透镜、光谱分光镜、物镜、相位调节器控制部件、监视光源、监视分光镜和光电成像部件，其特征在于：扩束准直器、衰减器、偏振态调节器、相位调节器、入射透镜、空间滤波器、出射透镜、光谱分光镜、物镜同光轴依次设置在系统光源的出射光路上，扩束准直器中透镜的主平面、衰减器的平面、相位调节器的平面、入射透镜的主平面、空间滤波器的平面、出射透镜的主平面、物镜的主平面均与系统光源的出射光路垂直；入射透镜与出射透镜的间距为入射透镜焦距和出射透镜焦距之和，空间滤波器设置在入射透镜和出射透镜之间的频谱面上，相位调节器控制部件与相位调节器通过数据线连接；监视分光镜设置在监视光源的出射光束光路上，监视光源的出射光束经过监视分光镜的分光面反射后射入光谱分光镜的分光面，其在光谱分光镜分光面上的射入点与系统光源在光谱分光镜分光面上的射入点重合，并且光谱分光镜的分光面设置在监视光源经过监视分光镜分光面反射后的光束的光路与系统光源出射光路的角平分线上；光电成像部件设置在监视光源经过监视分光镜分光面反射后光束的反向延长线上。